孙义钰 马旭 集成电路制造装 袁淼 先进计算光刻 李艳秋 备工艺核心技术矢量计算光刻模型OPC与SMO技术全芯片压缩感知光瞳优化技术
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袁淼 李艳秋 孙义钰 马旭
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